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12-24
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多晶硅生产工艺流程图 NEW
以下文字资料是由(太原热线www.0351net.com)小编为大家搜集整理后发布的内容，让我们赶快一起来看一下吧！问题一：电子级多晶硅的生产工艺 作者:梁骏吾就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氯氢硅法、四氯化硅法、二氯二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法...
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